等离子净化器又称低温等离子废气净化器。本工艺在电催化总的规划概念下，分三个即独立又混成的激起系统：微波激起区、等离子激起区、极板激起区。每个激起区有它特定的功用，但在原理上有它类似的当地。
1：微波激起区。根据被处理风量的不同数量不同，微波由于它的频率相对比较高，在纳秒的时间内有用作用于被处理空间（区域），由于微波的功率相对较小，因而在激起才干上也就是说电子的获能跃迁才干上有限，本规划仅仅把微波作为初频激来源，在处理进程中作为一种预激起能。由于微波的预激功用，极大的前进等离子体区，极板区的激起才干和处理作用，由于微波技术的运用，本工艺在同类设备的比较中显得设备精粹而作用优胜。
2：低温等离子体激起区。充有特别气体的无极管组成的低温等离子体激起区是工艺的中心技术，国外诸多科研机构室称在常压下完结低温等离子体。从许多的实验分析，常压低温等离子体要在工业中运用存在的困难依旧很大，本工艺凭仗低气压的无极灯作为低温等离子体的激起体，zui大极限地在无极管区完结低温等离子体区，由于低温等离子体在能量跃迁进程中具有极强的能量平衡性，在粒子碰击中失能很少，所以低温等离子体作为原子激起是zui志向的一种能。在实践运用中，zui大的科题在于低气压终究是多少帕？管内充什么样的气体zui有经济价值？这没有理论模型可言，只需通过实践、实验、分析。
3：极板激起区。根据被处理气体的流量，极板间的电压分12KV、16KV至42KV，极板间加以足够高的电压，在引风的作用下，极区由于负压的作用，按照法拉第暗区理论、光致电离理论、自在离理论，在常压或靠近常压的条件下有恰当概率的粒子可能完结低温等离子体。
根据三类的功用区，会合的目的是完结低温等离子体，由于理论和实际运用条件上的差异，单一的方法取得低温等离子体，从功率上，外部条件上都存在距离。本工艺集三种技术与一体，经山东、江苏、浙江三地多家医药、化工企业的实地检验，原废气的去除率非常志向，根据尼普公司的检验，高浓度废气去除率可达84%以上。
电催化氧化工艺集低温等离子体、微波放电、极板放电与一体，在实际运用中完结废气的有用处理是极为复杂的进程，整个进程在不到1秒的时间内完结。从理论到模型都能探究到相关的机理，通过三种方法的会合放电，废气分子从低能的E,在千分之一秒的时间内跃迁到足以使其电离的Em级，废气分子键充分开裂，在雪崩式的碰击中开裂后的粒子由于质量更小，被进一步跃迁，与反应堆内的氧离子氢氧根离子发生反应，生成无害无味的CO2、H2O以及其它高价化合物。一起由于反应堆内臭氧以及紫外线的作用，完全去除不同领域的废气化合物，实地较为广谱的去除空间。
低温等离子体技术在废气处理中的运用跟着工业经济的开展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等工作发生的挥发性有机废气也日渐增多，这些废气不只会在大气中停留较长的时间，还会涣散和漂移到较远的当地，给环境带来严峻的污染，这些废气吸入人体，直接对人体的健康发生极大的危害；其他工业烟气的无控制排放使全球性的大气环境日益恶化，酸雨(首要来源于工业排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了各国的注重。由于大气受污染而酸化，导致了生态环境的损坏，严重灾害频繁发生，给人类造成了巨大损失。因而挑选一种经济、可行性强的处理方法势在必行。
降解挥发性有机污染物(VOCs)传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，关于低浓度的VOCs很难完结，而光催化降解VOCs又存在催化剂简略失活的问题，运用低温等离子体处理VOCs可以不受上述条件的束缚，具有潜在的优势。但由于等离子体是一门包含放电物理学、放电化学、化学反应工程学及真空技术等基础学科之上的交叉学科。因而, 现在能老练的掌握该技术的单位非常的少。大部分宣传选用低温等离子技术处理废气的宣传都不是实在意义上的低温等离子废气处理技术。
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