1、电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)。
2、电子制造厂净化工程垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
3、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。
4、电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值: (1)补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
(2)保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
(3)电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量,应取下面三项最大值:保证电子制造厂净化工程空气洁净度等级的送风量;根据热,湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量;向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量。
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