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1、洁净厂房应根据工艺生产要求采取静电防护措施。
2、洁净室（区）内的防静电地面，其性能应该符合以下规定：①地面的底层应具有导电性能，并应保持长时间性能稳定。②地面的面层应采用静电耗散性的材料③地面应设有导电泄放措施和接地构造。
3、洁净室的净化空调系统应采取防静电接地措施。
4、洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体气体或粉体管道应采取防静电接地措施，其中有爆炸和火灾危险场所的设备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。
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5、防静电接地系统应分别按不同要求设置接地连接端子。在一个房间内应设置等电位的接地网格或闭合的接地铜排环。在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0.1Ω。
6、洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则,其中直流接地系统不能与交流接地系统混接。直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设,并应使用绝缘屏蔽电缆。
7、接地系统采 用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω;选择分散接地方式时，各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体，两者应保持20m以上的间距。洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准《建筑物防雷设计规范》GB 50057的有关规定。