氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
常用名词解释：
漏率：测量单位Pa·m3/s：表示每秒向体积为1m3的容器充入1Pa的压强。一个漏孔漏率大小与温度、压差、气体种类有关。 科学计数法：用指数形式表示数值，如1.7E-8表示1.7×10-8。
最小可检漏率：在最佳工作条件下，以一个大气压的纯氦作为示漏气体，检漏仪能检出的最小漏孔。
反应时间：检漏仪显示值上升到最大值的0.63倍时所需时间。
氦本底：由于被检件和检漏仪中残余氦气不能及时清除，造成的本底信号。
检漏口最大压强：检漏仪内检漏阀开启所需要的压强条件。
氦质谱检漏仪工作原理
氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为10-9～10-12Pa·m3/s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小。其灵敏度可达10-14～10-15Pa·m3/s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点。适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pa·m3/s。
氦质谱检漏仪检漏方法
氦质谱检漏方法常见的有真空法检漏、真空压力法检漏、正压法检漏以及背压法检漏四种检测方法，这四种氦质谱检漏法的检测原理不同，检测的优缺点及检测的标准也有所差别。
氦质谱检漏仪应用领域
氦质谱检漏仪应用领域比较广泛，涵盖了航空航天/电厂电力/分析仪器/汽车制冷/核工业/仪器仪表/压力容器/半导体/阀门/管路管道/包装/新材料/新能源/真空炉/真空镀膜等行业。
氦质谱检漏仪厂家介绍
安徽博为光电科技有限公司是一家集自主研发、生产、销售的氦质谱检漏仪企业，年产量可达1000台以上，客户遍及全国各地，应用领域涉及近百种行业。
氦质谱检漏仪主要技术参数
最小可检漏率：5×10-13Pa•m3/s
漏率显示范围：1×10-3—1×10-13Pa•m3/s
启动时间：≤3min
响应时间：≤1.0s
检漏口的极限压力：1000Pa
机械泵抽速：4L/s
电源要求：220V，50Hz，单相，10A
工作环境：0-40℃
相对湿度：≤80%
外形尺寸：550(W)Í420(D)Í700(H)
重量：65kg
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