MEMS技术核心芯片级热膜式微小流量检测流量传感器

名称：MEMS技术核心芯片级热膜式微小流量检测流量传感器AFE-01

品牌：SST

AFE-01由四个铂金薄膜电阻构成。阻抗低，加热区面积小。加热器左右两边各一个高阻抗电阻，用来检测流速和流向。还有一个电阻用来检测气体的温度。靠近加热元件的两个电阻连接成一个电桥。产生检测流速和流向功能的一个输出信号。没有流量的情况下，这两个电阻达到同样的加热状态。当有流量存在时，其中一个电阻的温度比另一个低很多，具体哪个电阻温度变低由流向决定。温度差可以测量得到，由流速和流向决定。流量传感器的加热时间和响应时间非常短，因为它的热质量小。这种方式可以检测到非常微小的流速变化。为了得到更高的流动速度，温度传感器可以与恒温风速仪相连接。

优势

1、流向检测

2、检测小质量物体的流动

3、简单的信号处理电路和标定

4、完全固定的机械元件

5、优异的重复性

6、优异的长期稳定性

7、适用于多种行业或安装到不同外壳

8、最优的性价比

应用

1、差压传感器

2、HVAC和楼宇控制方案

3、医疗设备

4、汽车行业

5、设备检测

技术指标

测量原理：热量原理

检测量程：0 ... 50 m/s （以CTA模式的电路为例）

灵敏度：0.001 m/s

精 度：< 2%测量值（取决于电路和标定）

响应时间：T63% < 0.5 S

温度范围：-20…… +150 °C

电气连接：绝缘漆包铜线 (一般长度25 mm)

加热元件：RH (25°C) = 34 □± 10%

检测元件：Rs_i (25°C) = 425 □ ± 10%

参考元件：RR (25°C) = 710 □ ± 10%

供电电压：一般为 2 …… 5 V（取决于气体流速）

基片材料：低热导陶瓷