脉冲清洗机元宇宙 清洗机业务批量交货

 　　清洗设备赛道好空间大，有望率先实现全面国产化

　　相比于刻蚀机、光刻机和CVD设备，技术门槛较低的清洗机有望率先实现未来3-5年的全面国产化。我们预计中国大陆地区每年的湿法清洗设备空间在15-20亿美元，目前除长江存储之外的各家晶圆厂，清洗机的国产化率均在10%以内。我们假设到2023年清洗机的国产化率可达40%-50%，则国产设备每年的市场空间在40-70亿元；我们判断2025年左右可以实现绝大多数清洗机机型的国产化，则国产设备市场空间约100-130亿元。作为国内龙头，公司的清洗机已覆盖0.35um到28nm线宽的制程工艺，我们看好中长期至纯清洗机逐步突破高制程工艺技术。

　　传统主业高纯工艺系统：国内龙头地位稳定，为公司贡献稳定现金流

　　至纯高纯工艺系统国内龙头地位逐步稳固，客户选择系统供应商非常谨慎、客户粘性高，预计未来可保持年化10%-20%的复合增长。目前行业内技术领先且具有承接大项目实力与经验的本土企业较少，呈现出高等级市场集中度较高（主要为国外龙头）、低等级市场较为分散的竞争格局。我们判断该业务未来三年有望保持15%的复合增速，我们预计2020-2022年高纯工艺系统收入分别为7.3、8.4、9.7亿元。

　　晶圆再生业务：至纯竞争优势显著，静待晶圆再生业务空间打开

　　至纯晶圆再生业务团队来自于成熟的技术团队，具备业务经验及技术优势。（1）相比于海外竞争对手，至纯具备距离优势，直接为客户节约物流费用；（2）相比于国内竞争对手，至纯具备成本优势。我们判断，伴随下游晶圆市场放量，晶圆再生业务空间即将打开，集距离优势、技术优势及成本优势于一身的至纯将充分受益。

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